金刚石薄膜的抛光技术

来源 :机械设计与制造工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jhf44623386

【摘要】

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介绍了目前正在研究和应用的金刚石薄膜抛光技术，并对它们的原理、特点和适用范围进行了分析和总结。 The diamond film polishing technology currently under study and ap

【作者】

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唐璧玉靳九成陈小华陈宗璋

【机构】

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湖南大学!长沙，410082,湖南大学!长沙，410082,湖南大学!长沙，410082,湖南大学!长沙，410082

【出处】

：

机械设计与制造工程

【发表日期】

：

1998年04期

【关键词】

：

金刚石薄膜抛光技术激光烧蚀化学抛光离子束辐照机械抛光表面光洁度表面抛光离子束抛光磨板

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介绍了目前正在研究和应用的金刚石薄膜抛光技术，并对它们的原理、特点和适用范围进行了分析和总结。 The diamond film polishing technology currently under study and application is introduced, and their principle, characteristics and application scope are analyzed and summarized.

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