【摘 要】
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研究了由硅微质量块-悬臂梁惯性力敏结构和氮化铝（AlN）薄膜体声波谐振器（FBAR）检测元件集成的FBAR 微加速度计表头的惯性力敏特性.采用有限元（FEA）静力学仿真,得到惯性力载荷作用下
【机 构】
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西南科技大学信息工程学院,中国工程物理研究院电子工程研究所,重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室
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研究了由硅微质量块-悬臂梁惯性力敏结构和氮化铝（AlN）薄膜体声波谐振器（FBAR）检测元件集成的FBAR 微加速度计表头的惯性力敏特性.采用有限元（FEA）静力学仿真,得到惯性力载荷作用下硅微悬臂梁上的应力分布;选取最大应力值作为载荷,基于第一性原理计算纤锌矿AlN 的弹性系数与应力的关系式,预测惯性力载荷作用下AlN 弹性系数的最大变化量;采用谐响应分析,预测FBAR 微加速度计的加速度-谐振频率偏移特性.分析得到：惯性力载荷作用下,FBAR 微加速度计的谐振频率向高频偏移,灵敏度约为数kHz/g ;
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