【摘 要】
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聚酰亚胺/SiO2合成薄膜是一种具有优良力热光电性能的薄膜材料,在MEMS工艺中具有广阔的应用前景,其力学性能测量的研究具有非常重要的意义.本文将数字散斑相关技术和微拉伸试
【机 构】
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东南大学工程力学系,东南大学化学化工系
【基金项目】
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国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)
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聚酰亚胺/SiO2合成薄膜是一种具有优良力热光电性能的薄膜材料,在MEMS工艺中具有广阔的应用前景,其力学性能测量的研究具有非常重要的意义.本文将数字散斑相关技术和微拉伸试验相结合,对厚度为37μm的聚酰亚胺(polyimide)/二氧化硅(SiO2)合成薄膜进行了力学性能测量,获得了比较满意的结果.文章给出了测得的弹性模量和泊松比.为了解决数字散斑相关法不能直接测量较大变形的缺陷,本文提出了多级相关算法,并利用亚像素搜索和双线性插值进行了数据处理.
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