推杆式退火炉的工艺改进

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推杆式退火炉(RTA-300)采用连续退火工艺,生产周期长,效率低,而且质量不稳定。改成等温退火工艺后,产品质量提高,生产效率翻番,且节省电能,经济效益明显。附图2幅,表1个。
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