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采用混凝沉淀—UASB—A/O处理系统—二次沉淀工艺对光伏企业硅片清洗废水进行处理,介绍了工程设计参数、UASB厌氧反应器和A/O处理单元的启动过程及处理工程运行情况。运行结果表明:出水COD、SS、分别为117、71 mg/L,去除率分别为95.4%、96.2%,达到《电池工业污染物排放标准》(GB 30484—2013)中的间接排放限值要求。该工艺运行稳定,是一种可靠的硅片清洗废水处理工艺。