利用激光散斑测量CCD的调制传递函数

来源 :四川大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:IDYLL123
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在分析了影响CCD调制传递函数诸种因素的基础上,选取一些半导体材料的典型值,数值模拟计算了MTF。利用激光照明粗糙表面的物体所形成的散斑图样,根据散斑功率谱经CD成像前后的变化,确定CCD的调制传递函数,实验结果与数值模拟计算相符。
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