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[会议论文] 作者：林璇英;黄创君;余运鹏;余楚迎;林揆训;魏俊红;黄锐;,
来源：2003年中国太阳能学会学术年会 年份：2003
以SiCl-H为气源,用PECVD方法低温沉积多晶硅薄膜.用Raman散射光谱测试样品的纵向结构特性,发现随着薄膜纵向深度的增加,薄膜中硅晶的颗粒尺度逐渐增大.用扫描电子显微镜观察...
[会议论文] 作者：林璇英,黄创君,余运鹏,余楚迎,林揆训,魏俊红,黄锐,
来源：2003年中国太阳能学会学术年会 年份：2003
以SiCl-H为气源,用PECVD方法低温沉积多晶硅薄膜.用Raman散射光谱测试样品的纵向结构特性,发现随着薄膜纵向深度的增加,薄膜中硅晶的颗粒尺度逐渐增大.用扫描电子显微镜观察薄膜表面形貌,发现表面是由许多球形、近球形的纳米尺寸的颗粒构聚而成.我们认为,具有晶......
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