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[期刊论文] 作者：张通,王御睿,张昊,张宇,付秋明,赵洪阳,马志斌,
来源：真空科学与技术学报 年份：2023
借助高速光纤光谱仪对ECR微波等离子体进行实时诊断，研究了等离子体空间分布以及工作气压和甲烷浓度对等离子体发射光谱的影响，并在ECR-MPCVD设备上研究了单晶金刚石同质外延生长工艺。在CH4/H2体系下，ECR微波等离子体与运行于中高气压下等离子体中所含基团种类基......
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