主体树脂相关论文
光刻胶是集成电路的基础工艺研究材料,随着近些年来大规模的集成电路的发展,光刻胶的研究开发和应用变得热门。光刻胶的重要组分之......
近期，西安航天复合材料研究所，以TDE-85树脂和AFG-90树脂为主体树脂，混合芳香胺为固化剂，研究了一种适合于碳纤维复合材料湿法缠绕成型......
浸没式光刻技术是在原干法光刻的基础上采用高折射率浸没液体取代原来空气的空间，从而提高光刻分辨率的一种先进技术．此项技术的实际......
本文通过沉淀聚合合成了聚(甲基丙烯酸-co-甲基丙烯酸甲酯-co-甲基丙烯酸叔丁酯-co-甲基丙烯酸异冰片酯)四元共聚物,合成了光产酸......
本文从化学增幅技术的产生,深紫外248nm胶主体树脂及PAG发展历程、溶解抑制剂、存在的工艺问题及解决途径多个方面综述了深紫外248......
从主体树脂的结构设计、单体的合成工艺、主体树脂的合成工艺、光致产酸剂的评价、配方研究等多个方面论述了193 nm光刻胶的研制工......
