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低压生长相关论文
高质量石墨烯的制备及其应用研究
石墨烯具有优异的物理性能,包括纳米级别的厚度、超高的室温电子迁移率、良好的透光性能,使其在电子器件、触摸屏等领域有着巨大的......
学位
石墨烯
化学气相沉积法
常压生长
低压生长
场效应晶体管
4H-SiC低压同质外延生长的研究
近些年,SiC大功率器件的研究越来越受到人们的关注。由于SiC大功率器件是制作在外延层上,所以对SiC器件的性能来说,SiC外延薄膜的......
学位
4H-SiC
同质外延
化学气相沉积
低压生长
生长速率
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