光栅干涉仪相关论文
自1895年德国物理学家伦琴发现X射线并得到人类历史上首张X射线图像以来,X射线成像一直是热点研究课题,在医学成像、工业无损检测......
第三代同步辐射为X射线成像提供了一个单色、能量可调谐的高亮度光源。对于由低Z材料组成的样品来说，相比于传统成像方法，X射线光栅......
利用简单直观的非近似方法分析双光栅干涉仪,证明了该干涉仪的干涉条纹反差不受照明光源相干性限制时,光源的空间位置不影响条纹形......
光刻机作为高端超精密加工装备的代表,在大规模集成电路制造领域发挥了无可替代的重要作用。掩模台作为光刻机的重要核心组成部分,......
在新一代大型掘进装备精确导向过程中,盾构头姿态角角度测量至关重要,这种角度测量要求精度高,工作距离长,非接触实时动态测量,且......
X射线自1895年被发现以来便迅速在医学影像,工业无损检测等领域得到了广泛的应用。然而诸如生物软组织等由低原子序数低密度物质构......
正弦相位调制干涉测量法是对参考光束进行正弦相位调制,并对干涉信号进行分析,求出被测物体物理量的方法。该方法具有结构简单、测......
为提高光电式光栅刻划机的控制精度，设计了一种自准直式激光光栅外差干涉仪的新型测量系统。以光栅衍射和偏振光学为理论基础，结合电......
针对28nm浸没式扫描光刻机掩模台的光栅干涉仪位移测量系统,开展了系统热漂移研究,并进行了热漂移测试实验与结果分析。该位移测量......
对进一步提高光栅干涉仪定位检测系统的定位精度和位移检测分辨率进行了研究,分析了检测视场中干涉条纹的不同测量位置对定位系统......
在以光栅干涉仪为位置测量仪器的系统中,可以采用单片机细分的方法进一步提高系统精度.论述了单片机细分原理,介绍了实现160细分的......
针对传统光栅干涉仪中测量范围和分辨率难以同时提高的问题，提出利用单根大长度、低线数光栅实现大量程、高分辨率位移测量的方法。......
开展了扫描干涉光刻机工作台超精密位移测量的实验研究,以提高扫描干涉光刻机的环境鲁棒性。针对扫描干涉光刻机工作台位移测量精......
利用正弦相位调制的光栅干涉仪测量振动物体的面形，采集振动物体引起相位变化的干涉条纹，经傅里叶变换解调相位，重建振动物体的面形。......
本文描述了一种以二维正交反射光栅为计量基准元件，以透射光栅为分光元件的二维光栅干涉仪，从研究光栅表面的光扰动出发，分析了这种干......
测量技术与科学技术各部门、国民经济各领域的发展都有十分密切的联系。随着科技的快速发展,各行业对高精度测量技术的要求都越来......
本文提出了一种激光自混合光栅干涉仪.通过利特罗结构设计,光栅衍射光沿入射方向原路返回激光器,和腔内光混合产生激光自混合干涉......
提出了一种新型的基于反射光栅干涉仪的低背景光谱仪,当使用工作在背景限制条件下的探测器时,降低背景噪声,有利于提高光谱仪系统......
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提出了一种新型的激光衍射光栅干涉仪测量系统，以光栅衍射原理和偏振光学为理论基础，配合正交信号的解相位细分原理，使得该系统可以达......
本文以光刻机超精密测量需求为背景,论述了一种二自由度光栅干涉仪测量系统。分别对光栅干涉仪的光路结构和测量原理进行了介绍和......
随着我国科技的持续发展,芯片制造设备对精度要求不断提高,其中位移测量系统的高精度测量对设备精度的影响具有关键作用。在高精度......
<正> §1.引言美国天文学家Rittenhouse约于1786年在费城第一次做了光栅实验。他用金属丝平行地排列在精密丝杠上,观(?)了光的衍射......
@在车间条件下操作时rrrrrrrrn近几年市场上出现的光栅干涉仪在测量精度方面常优于He-Ne激光干涉仪.它有一些特别的优点rrrrrrrr......
