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刻蚀端面激光器相关论文
刻蚀端面AlGaInAs/AlInAs激光器的制作与特性
利用Cl2/BCl3/CH4电感应耦合等离子体(ICP)干法刻蚀技术,实现了对AIGaInAs,InP材料的非选择性刻蚀.AlGaInAs与InP的刻蚀速率分别为......
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