厚度均匀性相关论文
源炉是分子束外延设备中的核心部件之一,对于分子束外延设备及其成膜性质具有决定性的影响,源炉的性能对于外延薄膜的厚度均匀性、......
对于表面形状复杂的异形工件,在薄膜沉积过程中由于受到阴影效应的影响,将会造成薄膜厚度的不均匀以及表面性能和结构的差异,工件......
金属波导内腔空间小,电镀时存在严重的浓差极化现象,导致镀层厚度分布不均.在电镀金时通过增加导流装置来加快波导内腔镀液的流动......
随着摩尔定律的逐步实现,大直径硅片的应用规模逐渐扩大,然而,大直径硅外延片的片内均匀性成为了外延的主要问题之一.使用具有五路......
本文通过对层压垫板的研究,探讨影响垫板厚度均匀性的影响因素,从垫板厚度现状、原因分析及关键因子对比实验三个方面进行展开，实验......
目前，由于汽车车灯工件批量少、种类繁多，车灯喷涂机器人离线编程系统尚无法满足喷涂效果和效率要求，因此车灯喷涂主要还是靠人工喷涂......
磁控溅射系统中薄膜厚度的均匀性是关键指标之一.通过分析磁场强度、靶材与基板的距离和气体压强对Si3N4和SiO2两种薄膜厚度均匀性......
本文基于随机原理建立了三维涂层生长模型,其中飞行颗粒撞击衬底前的空间和状态分布通过统计模型预测.采用上述模型对不同扫描间距......
材料和机械专业知识的结合已经为俄罗斯PP成型市场开启了新的可能性。这种可能性源于俄罗斯石化巨擘商西布尔和机械制造商WM Wrapp......
介绍了聚烯烃（PO）涂布膜的性能以及在线涂覆法生产PO膜的工艺流程及工艺难点,研究了PO膜对螺杆、机头、自动膜厚控制系统、牵引张力......
本文对压延机的辊筒位置控制技术和辊缝处的压力控制技术的发展进行了论述和比较。讨论了补强帘线和钢丝在进行双面贴胶时辊筒辊距......
研究直流磁控溅射中溅射功率对ＴｂＦｅＣＯ磁光薄膜成分均匀性、厚度均匀性、克尔旋转角θｋ和矫顽力Ｈｃ的影响。实验结果表明对于全金属互化物相（１００％ＩＭ）ＴｂＦｅＣｏ合......
针对南光 Ｚ Ｚ Ｓ７００１／ Ｇ 箱式真空镀膜机电子枪扫描系统的缺陷， 提出一种实用的改进装置， 克服了被镀材料蒸发特性不同带来的膜厚误差， 提高了......
本文研究了磁光盘生产中 Ar气压强对直流磁控溅射 Tb Fe Co磁光薄膜均匀性的影响 ,通过调整溅射气压来提高薄膜的厚度均匀性和成分......
研究了用直流磁控溅射技术在 80～ 1 40目的镍基合金微粒表面包覆 1 0μm左右的金属铬膜的方法 ,讨论了工艺的影响和膜的性能 ,指出......
控制带材平直度和控制带材整个宽度上厚度均匀性,关键在于必须补偿轧制时产生的轧辊挠度。通常,借助于原始的辊身凸度和弯辊系统......
随着工业和科学技术的发展,在电镀技术中,对电镀层的质量提出了越来越高的要求,尤其是对电镀层厚度的均匀性的要求,越来越严格。......
利用新改进的水平低压热壁CVD设备,改变生长时的压力和H2流速,在50mm的Si(100)和(111)衬底上获得了3C-SiC外延膜,并对外延膜的结构......
在H_2、N_2和TiCl_4蒸气气氛中,用直流等离子体化学气相沉积法,在塞规上沉积TiN涂层的应用进行了研究,结果表明: ①等离子体化学气......
由于IGBT模块的用途通常都要求具有较高可靠性,模块的电器失效的代价是非常高的,模块生产商及用户都希望有工具能在安装使用前检测......
自行设计并搭建了一套全自动荧光粉涂覆系统。针对涂覆工艺,通过扫描电子显微镜研究真空搅拌除泡处理时间对涂覆质量的影响,结果发......
自行设计并搭建了一套全自动荧光粉涂覆系统。针对涂覆工艺,研究了有无真空搅拌除泡装置对荧光粉涂覆效果的影响,结果发现未经真空......
利用光内送粉技术对小间隙双层斜套的成形工艺进行了研究,采用依次独立堆积路径、法向分层、无错位堆积工艺方法成形了双层斜套。......
本文报道了用电调制反射(ER)谱技术测量a-Si太阳电池中非晶硅膜的禁带宽度E_g和厚度均匀性的结果。该技术简单,测量灵敏度和分辨率......
一、前言 真空蒸镀铝膜材料用做金属化电容器比之用轧制铝箔做电容器具有许多优点:(1)蒸镀铝膜薄,一般为300 (而铝箔7μm厚),故用......
1990年初,欧洲的巴尔采司(Baizers)公司推出的 CLC9300型真空溅射镀装置已被人们誉为90年代的最新产品。巴尔采司公司是当今世界......
随着高T_c超导薄膜的成功制备,人们开始着眼于它的实际应用.目前,超导薄膜最有可能得到应用的一个重要方面是微波器件.但微波器件......
红外减反射保护膜具有特定的厚度要求,如能进一步减小无氢类金刚石膜(DLC)的光学吸收,就能使其在较大厚度时不过分损失光通量而得......
控制好薄膜厚度的均匀性有利于降低企业的包装成本,减少由于原油价格上涨对包装企业带来的影响。本文详细介绍了薄膜厚度均匀性对......
ＨＴ－Ｕ托卡马克装置的１∶２模拟纵场线圈是由１４块１５３０ｍｍ×１５００ｍｍ×７ｍｍ的大块铜板进行胶接而成的。设计粘接层厚度为１５ｍｍ的玻璃纤维复合材料，厚度精度±０１ｍｍ，剪切强度......
圆形金及复合棒产品的有效工业生产方法是共挤压法，一般生产厂家大多采用这一方法来生产圆形金属复会棒产品．但国内用此法生产的金周......
该文提出一种射频溅射镀膜的新方法，讨论了该方法对小孔径１０．６μｍＧｅ－Ａｇ－Ｎｉ空心波导制作的意义，利用该方法已制成样品，同时给出并比较了几个不同孔径......
本文论述了金刚石薄膜的优点，比较了化学淀积金刚石薄膜的常用方法的优缺点，主要介绍了电容耦合射频化学气相淀积金刚石薄膜的原理和......
胶层特性是影响磁光盘性能的重要因素，通过实验研究了甩胶工艺对胶层特性的影响，通过调整滴胶量、甩胶时间和电机转速来控制胶层的厚......
文中描述了用MeV级质子的背散射测定单晶Si薄膜的厚度、厚度均匀性及膜的表面沾污,用质子沟道效应确定了膜的单晶完整程度及表面沾......
硼磷硅玻璃膜(BPSG)是在等离子增强型化学汽相淀积(PECVD)系统中淀积的。在一个可容纳70个园片(片径100毫米)的淀积区内,膜厚度均......
氮化硅是一种优良的介质膜,它的结构致密、硬度大、化学稳定性好,对于B、P、Sb、Al、Zn、O_2、Ga、In有很好的扩散掩蔽能力,特别......
一、前言有关低压硅外延生长技术的研究工作,我们曾做过一些报导。这种技术是一种新的单晶薄膜生长工艺。它在抑制自掺杂、改善电......
本文从几个方面探讨了一种应用粘合二氧化硅片制作绝缘体上硅的新技术。粘合是通过将一对亲水表面相互贴合的硅片置于惰性气体中加......
