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原生点缺陷相关论文
热屏位置对直拉硅单晶V/G、点缺陷和热应力影响的模拟
为了研究热屏位置对200 mm直拉硅单晶V/G、原生点缺陷浓度场以及热应力场的影响,使用CGSim有限元模拟软件进行了系统模拟。结果......
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