同轴检焦相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

同轴检焦相关论文

基于干涉的同轴检焦新方法

针对现有离轴检焦技术在浸没式光刻方法中的局限性，提出了一种新的基于干涉的同轴检焦方法。测量光通过光刻物镜入射到硅片表面，在硅......

期刊

测量同轴检焦干涉傅里叶变换离焦量 measurement coaxial focusing interference Fourier transform

基于差动调制度解析的同轴检焦方法

针对现有同轴检焦方法如临界角法、博科刀口法、针孔法以及像散法等容易受光强变化的影响,且对系统装调有较高要求的问题,提出一种......

期刊

测量同轴检焦光刻傅里叶变换调制度

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