周期多层膜相关论文
分析了Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜的成像性质与周期多层膜元件间的关系.基于分辨力和集光效率要求,设计了KB显微镜的光学结构,模......
通过对Mo/Si周期多层膜添加碳(C)层、进行高温退火处理,研究了Mo/Si/C多层膜进行热处理后在同步辐照条件下对薄膜相关物理特性的影......
多层膜技术极大地提高了光学元件对极紫外光和软X射线的反射率，有力地促进了该波段光学系统的发展，已在天文学、显微成像、光刻、同......
