多靶磁控溅射相关论文
自从“多主元高熵合金(HEA)”的设计理念被提出后,一些学者开始研究多主元碳氮化合物薄膜。由于薄膜中存在碳碳共价键、碳化物和氮......
利用多靶磁控溅射技术制备了Au/SiO2纳米颗粒分散氧化物多层复合薄膜.研究了在保持Au单层颗粒膜沉积时间一定时薄膜厚度一定、变化......
