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对靶磁控共溅相关论文
退火温度对反应共溅法制备CoTiO2薄膜的影响
通过超高真空反应磁控共溅射方法制备了CoTiO2薄膜样品,在退火过程中加入了紫外光照射,研究了退火温度在反应共溅法中对薄膜微结构......
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对靶磁控共溅
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