微执行器相关论文
设计并制作出了一种自由空间微机械单模光开关.该光开关是采用表面微加工技术和体硅微加工工艺制作的.这种光开关采用平面线圈型微......
本文对于V型梁结构微执行器,理论研究表明V型梁的长度、宽度、厚度和初始偏置角度等几何参数对微执行器的性能存在直接影响.在结构......
基于扭臂式微驱动器模型,根据边缘电容效应不可忽略的特点,推导出计及边缘效应的电容表达式,利用能量法求解扭臂式微执行器的pull-......
可变光衰减器(VOA)是光纤通信系统中重要的无源器件之一.采用MEMS技术的可变光衰减器,从实现光衰减的机制上分,主要有平面波导型、......
在同一介质上,应用集成电路微细加工技术制作出尺寸在微米范畴的微机械部件,微传感器,微传动装置并将它们与微电子线路在一起形成高性......
本文提出了压电薄膜微马达的工作原理,介绍了该马达的优良性能、结构形式和加工工艺,最后指出了该马达研制的关键技术以及应用前景。......
文报道了近几年来 LIGA技术的改进 (如制备活动微结构和特殊形状侧壁以及与集成电路的准单元集成等 ) ,描述了用 L IGA技术制备的......
提出了一种基于权间隙原理的微机械数模转换器 (WGDAC) ,它与电路中的权电阻数模转换器的原理类似 ,利用间隙的长度作为比例因子 ,......
本文提出了一种基于双层弯曲热微执行器的新颖的调谐方式,太赫兹带阻滤波器采用波导加载金属块的形式。双层弯曲热微执行器驱动金......
微量和超微量作为现代科学技术一个重要的前沿问题,是人类探索认识微观世界的重要手段。本课题提出了一种通过将超微质量转换为超......
近年来宏/微执行器(dual-stage actuators system-DSA)作为一种受到广泛关注的高精度装置,其具有定位精度高、行程范围广、鲁棒性......
微夹持系统是微执行器中一个重要的分支,用于完成微小目标的夹持、移动和组装等动作.研究和开发适用于微型零件操作和装配的微夹钳......
微型机电系统是一个新兴的技术领域,是一个跨世纪的新学科.本文简要介绍了MEMS的历史、对各行各业发挥的重要作用以及研究的主要成......
自微电子技术问世以来,人们不断追求越来越小、越来越完善的微小尺度的装置,并对生物、环境控制、医学、航空、航天、精确制导弹药......
由于高新技术的迅速发展,微型机械包括各种微传感器、微执行器和微控制器的研究和为一些尖端技术发展过程中的重要手段越来越受到国......
较系统地研究了静电梳驱动微振子的结构和工作原理,导出了微振子的谐振频率、品质因子及跨导等参数,以及相应的力学和电学模型,并......
微型机械 (包括集微型传感、动作、反馈于一身的微机电系统 )的发展将极大地促进各类先进机械的微型化 ,它将广泛地用于生物医学 (......
在科学技术飞速发展的今天 ,特别是被称为 2 1世纪核心技术的信息技术、生物技术和微纳技术的迅猛发展 ,使各学科之间正呈现出高度......
微型机械加工或称微型机电系统是集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、甚至外围接口、通讯电路和电源等于......
反射式微光机电系统是微光机电系统中的重要组成部分,近年来得到了较快的发展。介绍了反射式微光机电系统(MOEMS)的研究现状和最新......
MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems微机电系统)是集微结构、微传感器、微执行器和微电控为一体的机电系统,是一个多学科交叉......
介绍了一种基于光致形变聚合物材料的MEMS开关微驱动器。光致形变聚合物材料在光驱动型微执行器上的应用具有体积小、结构简单、易......
微型机电系统技术是一个新兴的技术领域。本文介绍了微电子机械系统 (MEMS)的特点和关键技术 ,讨论了MEMS的应用 ,并阐述了MEMS的......
微夹钳是最典型的微执行器,它可以充当机器人手爪,配合各种多自由度驱动装置成为微机器人。微夹钳单元技术与微装配、微操作、微焊接......
超磁致伸缩材料是一种新型的功能材料,可用于机器人、阀门、微动工具、精密加工、微机电系统和声纳系统等领域。本文介绍了超磁致伸......
用SF_6/CCl_2F_2加O_2混合气体,在普通的平板型反应离子刻蚀机上,进行了深刻蚀硅的研究。当掩膜厚度约120nm-150nm的Cr薄膜时,研究了O_2在混合气体中的比例对刻蚀形貌和......
借助离子束溅射制备不同膜态组合的Sm-Fe-B/NiFe多层膜振动元件,所采用的Sm-Fe-B与NiFe耦合膜厚度比分别为3∶1和1∶1.实验结果表......
本文采用Mo、WTi90-Au和TiW90-Au三种不同的金属薄膜作为玻璃深槽腐蚀的掩蔽层,研究不同掩蔽薄膜对玻璃腐蚀的横纵腐蚀比,并通过光......
微机电系统(MEMS:Micro Electro-Mechanical System)是一种集成微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通信接口和电源等部件,......
简述了微机电系统近年来研究的概况,其中微传感器成就最突出,技术比较成熟,实用化程度高,有一定的市场占有率,在非传感器方面,在很大程度......
东芝公司研制成功能在直径25.4mm的管路内检测、辨识并收集异物的世界第一台超小型检测机器人。 这台机器人长110mm,外径23mm,行......
微机械电子系统(有人称微机械或微系统,或微电子机械系统)是指用微机械加工技术制作的包括微传感器、微执行器、微能源等微机械基本部......
优先选用硅材料,用微米级制造技术制作而成的微机械传感器,简称微传感器。它与传统传感器相比,有许多特征和技术优势。微小是其特征之......
本文采用溶胶凝胶法制备PZT薄膜,研究薄膜的改性工艺及其在微执行器中的应用,表征改性后薄膜的晶向、微观结构、介电、铁电、抗疲......
表面弹性波马达是一种以电声换能器产生表面弹性波,并通过马达动子和定子的接触摩擦将表面弹性波振动转换为马达动力的新型执行器。......
微执行器是构成MEMS动力部分,是MEMS的操作和执行机构.本文介绍了常用的电场力、磁场力和热效应驱动的三种驱动的MEMS微执行器特点......
磁驱动微执行器是一种重要的微执行器。与静电驱动相比,磁驱动具有一些无可替代的优点,例如:是电流控制型器件,不需要产生高电压的......
美国电报电话公司研究人员已研制成一台自由空间微加工成的偏振旋光器,能解决最佳光纤网络中由偏振模色散引起的速度限制。这些器件......
MEMS在21世纪取得了巨大的成功,它点燃了信息技术革命的火炬,促进了计算机技术、通信技术以及其他相关技术的更新换代,它自身仍在......
超磁致伸缩薄膜是一种性能优良的新型微驱动元件 ,文章介绍了超磁致伸缩薄膜驱动的原理 ,综述了薄膜型超磁致伸缩微执行器的开发和......
微机械数模转换器是一种用数字信号精确控制微执行器输出量的新方法,本文介绍了微机械数模转换器的概念,分析了“C-2C梯型网络”、......