微波等离子体化学气相沉积法相关论文
金刚石作为一种超宽禁带半导体，是下一代功率电子器件和光电子器件最有潜力的材料之一。然而，高品质、大面积（大于2英寸）单晶衬底的制......
期刊
本文采用微波等离子体化学气相沉积法,研究了氮气浓度对等离子体基团以及单晶金刚石生长速率、生长质量、表面形貌以及应力等方面......
学位
采用微波等离子体化学气相沉积法在Si基片上用乙醇和氢气沉积了金刚石薄膜。沉积前用金刚石微粉研磨基片可以促进金刚石形核。通过......
在过去几年中，石墨烯的研究报道广泛见诸报端。由于其高强度、高电导率、室温下的高电子迁移率、特殊的量子霍尔效应，使得石墨烯器件......
碳纳米管自发现以来,其独特的结构和优秀的性能使得它在场致发射领域得到了广泛的应用,碳纳米管被认为是最理想的场致发射材料。但......
自20世纪90年代初碳纳米管被发现以来,基于碳纳米管的场致发射阵列很快就被用到场致发射的研究中来。碳纳米管具有高长径比、较低......
该论文充分利用微波等离子体化学气相沉积法低温合成材料的特点,在低温条件下制备了纳米碳管,获得了较好的工艺条件.研究发现,合理......
金刚石具有优异的物理化学性能，它是自然界中最硬的材料，同时还具有高热导率、低热膨胀系数、低摩擦系数、化学惰性、紫外到远红外区......
掺氮纳米金刚石薄膜不仅具有一般金刚石薄膜诸多优良的特性如机械强度高、热导率大、化学惰性等，而且呈现出典型的N型导电以及低的......
宽禁带半导体碳化硅(SiC)薄膜因其高热导率、高电子迁移率和高饱和电子漂移速度等优异性质而受到广泛关注.同时,其稳定的化学......
采用微波等离子体化学气相沉积法，以N2/H2/CH4 为气源，通过改变反应气氛中的N2 浓度(10％～30％)制备了金刚石薄膜。采用扫描电子显微......
长期以来等离子体化学气相沉积法广泛用于薄膜材料的合成.自纳米碳管被发现以后,该方法已成为纳米碳管合成的一种非常重要的手段.......
期刊
采用微波等离子体化学气相沉积法 ,用高纯氮气 (99.999% )和甲烷 (99.9% )作反应气体 ,在单晶Si(10 0 )基片上沉积C3N4薄膜 .利用......
探讨了用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)在Si(100)衬底上加偏压电场和不加偏压电场情况下金刚石膜的成核行为.并经用原子力显......
The synthesis of carbon nanotubes￡¨CNTs ￡(c)at low temperature has received a gre at deal of attention and be-comes a cha......
期刊
作为材料的重要性质之一，硬度一直受到人们广泛的重视和研究。Cohen和Liu利用第一性原理计算从理论上预言了一种超硬性能的新材料β......
长期以来等离子体化学气相沉积法广泛用于薄膜材料的合成。自纳米碳管被发现以后，该方法已成为纳米碳管合成的一种非常重要的手段。......
纳米碳管具有非常优异的场发射效应, 亮度高、均匀且稳定的纳米碳管场效应发射器, 例如平板显示器、阴极射线管以及信号灯等有着非......
研究了化学气相沉积多晶膜的宏观性能（颜色和透光性）与微观性能（结晶质量、相纯度和氢杂质含量）之间的关系，喇曼谱与金刚石膜中氢杂质含......
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自1991年发现纳米碳管以来,纳米碳管以其优异的性能和众多的潜在用途吸引了人们的广泛关注.美国科学家Zettl[1]说:'要我比较C6......
纳米碳管由于其独特的物理和化学性能及广阔的应用前景而备受关注,其相关研究涉及到众多领域[1～3].在电化学分析领域,与其它碳电极......
利用微波等离子体化学气相沉积法在玻璃孔穴中定位生长纳米碳管电极,分析了负偏压对纳米碳管电极生长的影响.该电极对铜离子的电化......
电极的机械稳定性对电极电化学检测性能的长期稳定性非常重要。利用微波等离子体化学气相沉积法在玻璃基板上集成了纳米碳管电极，并......
纳米碳管在储能材料和场发射材料等方面具有非常广阔的应用前景.在纳米碳管的许多潜在用途中要求纳米碳管直接低温生长在具有导电......
气-液-固相理论(VLS)能有效地用于准一维碳材料生长的分析研究.以镍为催化剂,利用微波等离子体化学气相沉积法制备了弹簧状碳纤维.......
M .L .Cohcn和A .Y .Liu利用半经验公式和第一性原理计算表明 ,如果C和N能够结合成类似于 β Si3 N4结构的化合物 β C3 N4,由于C ......
目前,通过化学气相沉积的方法获得不同形状的金刚石已成为令人关注的焦点.特别是"自支持"的金刚石管在高压喷头,钻头工具和注射器......
<正> PCVD(Plasma-activated Chemical Vapour Deposition)法是用微波低压等离子体作反应源,在石英管内沉积制备光纤预制棒的一种......
期刊
采用微波等离子体化学气相沉积法在硬质合金基体上制备金刚石薄膜.研究了铜过渡层和酸蚀脱钴两种基体前处理工艺以及在施加铜过渡......
以甲醇为碳源,在负载于CaO上的Co催化剂的催化作用下,利用微波等离子体化学气相沉积法低温合成了较高纯度的纳米碳管.经分析认为,......
在镍催化剂的催化作用下,利用微波等离子体化学气相沉积法合成了纳米碳管,分析了不同腔体压力对所合成的碳材料结构的影响.研究表......
金刚石具有一系列优异的物理化学性能,例如:硬度大、热导率高、化学性能稳定、光学性能好等。这些都是其他材料无法比拟的优异性能......
学位
利用微波等离子体化学气相沉积法制备了与电极基底结合良好的纳米碳管电极，用空气等离子体将该纳米碳管电极功能化？并以功能化的电极......
通过对微波等离子体化学气相沉积装置中沉积的金刚石薄膜形貌与质量的检测研究了向甲烷/氢气等离子体中同时添加氮气/氧气对薄膜沉......
纳米碳管的低温合成是纳米碳管合成的一个重要研究方向 .在众多的合成方法中 ,化学气相沉积法 ,特别是等离子体化学气相沉积法在纳......
以正硅酸乙酯为原料,利用微波等离子体化学气相沉积法在低温条件下在Si基片上制备了SiO2膜,着重研究了正硅酸乙酯注入位置对SiO2膜......
