悬空薄膜相关论文
为提升硅衬底氮化镓基LED(发光二极管)器件的光电性能和出光效率,本文提出了一种利用背后工艺实现的悬空薄膜蓝光LED器件。结合光......
研究了MEMS中的悬空薄膜制备技术．用浓硼扩散自终止腐蚀法和PECVD淀积法分别进行了试验，得到了宽厚比为3000：1的悬空浓硼Si薄膜和宽厚......
为了便于导出LED有源层的出射光,本文研究了亚微米厚度LED悬空薄膜的工艺实现、形貌表征和光学性能表征。采用光刻工艺、深反应离......
介绍了基于浓硼扩散自停止腐蚀技术的大面积悬空浓硼硅薄膜的制备工艺。研究感应耦合等离子体(ICP)刻蚀的射频功率组合、反应室气......
微机电系统中的悬空薄膜的制备技术是微结构制备的关键技术之一．研究了周边固支方形薄膜的机械灵敏度及通过浓硼扩散自停止腐蚀法制......
