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甚高频等离子体相关论文
VHF-PECVD法制备nip型硅薄膜太阳电池的研究
柔性衬底太阳电池具有重量轻、可卷曲等特点,有非常广泛的用途,已经成为国际光伏领域研究热点。但是由于不锈钢带和聚酰亚胺等柔性衬......
学位
甚高频等离子体
化学气相沉积
缓冲层
硅薄膜
太阳电池
柔性衬底
界面结构
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