硅尖阵列相关论文
本篇介绍了电泳法在硅尖阵列上制备C—BN薄膜的工艺过程，用光学显微镜对电泳样品进行观测，显微照片表明电泳法制备C—BN薄膜比较均匀......
本文在目前基于场发射原理的真空传感器研究得较少,尚无成熟的、可靠的产品问世的情况下,将MEMS技术和真空微电子技术相结合,提出......
电离型气体传感器(GIS)是一种典型的基于物理检测原理的气体传感器，其利用局部高电场将样本气体电离，根据电离特性进行气体识别。电......
针对微电子器件,提出了一种简单、低成本、便于批量加工的硅尖阵列制备方法.分析了各向异性和各向同性湿法腐蚀的特点,研究了不同......
针对电气设备中SF6气体泄漏监测的需求,设计制备了基于硅尖阵列的SF6传感器。完成了基于硅尖阵列的多针-板型负电晕放电气体传感器......
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场发射真空传感器是采用MEMS加工工艺研制一种新型的基于硅尖阵列场发射原理的微型真空传感器。通过理论分析,确立了该种传感器中......
设计并制备了一种基于负电晕放电原理及微机电系统(MEMS)技术的多针-板型气体传感器。研究了电极间距对传感器放电特性的影响,综合......
场发射压力传感器是在新兴的真空微电子技术发展中诞生的一种新型传感器，具有灵敏度高、耐高低温、抗辐射、体积小等优点，在众多领域......
