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硅-玻璃热键合相关论文

SiO2薄膜辅助硅-玻璃热键合技术的研究

为了解决Si和普通玻璃进行直接键合时材料的热失配问题,提出了利用SiO2薄膜辅助进行硅-玻璃热键合(SGTB)的技术.通过分析SiO2薄膜......

期刊

SiO1薄膜辅助硅-玻璃热键合反应离子束蚀刻热诱导应力 SiO2 film assist silicon-glass thermal bonding （

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