离子束沉积相关论文
金属/碲镉汞电极接触是红外焦平面探测器的重要组成部分,对器件的性能与稳定性影响较大.然而在碲镉汞金属化过程中,金属离子能量较......
利用线性离子束沉积技术在单晶硅衬底表面制备类金刚石(DLC)薄膜,采用波长为1070 nm的连续光纤激光器扫描DLC薄膜,研究了激光功率......
利用双粒子束沉积技术,在Si(100)衬底上制备了氧化钆薄膜,离子束能量在100~500eV范围内,较低衬底温度时薄膜为(402)择优取向的单斜......
引言近来,对通过高聚物或碳氢化合物热解来制备导电碳制品的方法已作了广泛的研究。在这些方法中,因为汽相制取法可由多种加工工......
介绍了类金刚石碳（ＤＬＣ）膜和碳化锗（Ｇｅ＿ｘＣ＿（１－ｘ））簿膜的沉积方法、特性和在红外光学镀膜中的应用进展。
The deposition methods, properties and app......
本文叙述了对材料表面改性的宽束离子源的要求，重点介绍了考夫曼型气体离子源及电子束蒸发强流金属离子源，也介绍了ＲＦ、ＥＣＲ离子源及ＭＥＶＶＡ源。
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氮化铝(AlN)是非氧化性高功能陶瓷材料,具有许多优异的物理化学性质,日益被人们所重视。评述了AlN粉末和AlN薄膜的制备,应用。
Al......
用射频磁控溅射法成功地制备了非晶碳薄膜及掺氮非晶碳薄膜。拉曼光谱表征表明所沉积的非晶碳薄膜是非晶结构，具有类金刚石特性。对......
一、前言金刚石以超硬、耐磨、高绝缘、高导热、化学惰性以及高温半导体等优异性能被视为珍品,誉为宝石之王。可是直到本世纪五十......
引言材料、能源和信息工程是近代社会的三大支柱,而材料又是能源和信息工程的基础。研究、发展新材料,改进材料的质量和合理使用......
一、前言金刚石不但是美丽名贵的装饰品,千百年来受到人们的喜爱,而且具有良好的物理、化学性质,受到工业上的重视。它硬度极高,......
美国十八届双年度碳会议,八七年七月十九至二十四日在Worcester举行。会议分七个专题,即,纤维和碳—碳复合材料;碳化和石墨化;吸......
研究了利用低能离子束技术，在单晶硅片等多种基体表面形成类金刚石薄膜（ＤＬＣ膜）。利用透射电镜、Ｘ射线光电子能谱及拉曼光谱等分析手段对该......
在低温和常压下，通过电解甲醇和氨水混合溶液，在硅基片上进行沉积掺氮碳膜的尝试，得到了含氮8％的类金刚石薄膜。通过拉曼光谱和X光电子......
利用射频磁控溅射法成功制备了类金刚石薄膜，研究了溅射功率和基片温度对所沉积的薄膜的性能的影响．对所制备的类金刚石薄膜用拉曼光......
钛种植体表面的物理形貌和化学成分对生物学性能有重要的影响,种植体表面改性一直是学者关注的热点,随着纳米技术的发展,学者们尝......
文中详述了在低压区域于1100℃以下合成金刚石的动向及其存在的问题,分析了与金刚石同时析出的类金刚石碳、i-C的成因及抑制手段。......
由离子和离子束技术形成的非晶碳膜具有良好的电绝缘性、对红外及可见光透明、硬度大、耐腐蚀等优良性质,可望在半导体器件、激光......
类金刚石薄膜是七十年代初期出现的新型非金属薄膜材料之一.这种与金刚石的特性相接近的薄膜具有优良的耐磨、耐蚀性以及许多优良......
采用双离子束动态混合技术，对模具材料的表面进行改性处理。经测试发现，材料 表面经该技术改性处理后，显微硬度和抗磨损性能均有很大......
本文简略地回顾了用低压气相法制备类金刚石碳(DLC)膜的工艺;讨论了DLC膜的形成机制;评述了DLC膜的性能与工艺参数间的关系。
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在低压下,以甲烷和氢的混和气为原料,应用热丝 CVD 法,在 Si 基片上生长出了金刚石薄膜。经 X 射线衍射、激光刺曼光谱和扫描电子......
本文概述了最近十年来国外合成立方氨化硼薄膜的各种方法，指出了各种沉积技术的特点，并给出了试验条件、影响因素及合成立方氮化硼薄......
硬质膜是在特殊应用环境下必须具有一定电阻率的薄膜的统称。其中不仅包括耐摩擦膜,而且包括高倍物镜中的光学膜、辐射环境下使用......
研究了利用低能离子束技术,在单晶硅片等多种基体表面形成类金刚石薄膜(DLC膜)的工艺,测试了其物理化学力学性能,在硅片、硅太阳电......
金刚石膜和奖金刚石膜具有优异的力学特性、电气特性、光学特性、热学特性和化学稳定性。与金刚石膜相比，奖金刚石膜的制备工艺比较......
综述了类金刚石膜的制备方法,以及各种制备方法的基本原理和特点,并分析了各种方法对膜的结构和性能的影响。
The preparation me......
类金刚石膜由于其优异性能和广泛应用已引起越来越多的研究兴趣。尽管各种化学和等离子体辅助ＣＶＤ和ＰＶＤ技术已用来沉积类金刚石膜（ＤＬＣ膜），但其形......
低压气相沉积金刚石薄膜的工艺,按基本原理可分为化学气相沉积、离子束沉积、等离子化学沉积和化学转化方法。文中详细介绍了各类......
阐述了金刚石薄膜涂层的性能及应用前景．用微波等离子体化学气相沉积方法在Ｓｉ（１１１）以及ＳＤＡ１００３人造单晶金刚石的外露面上沉积出了优质金刚石薄膜层......
采用失重法、极化曲线法和显微金相分析法 ,研究了类金刚石膜涂层对不同基体在NaCl溶液中耐蚀行为的影响。结果表明 ,类金刚石膜在......
本文首先简单介绍了低能离子束沉积技术及其发展状况。通过计算机模拟计算了无场区和减速系统中的离子轨道,讨论了低能离子束形成......
宽束离子源区别于一般的窄束离子源.它通过多孔栅引出离子束.在空间很多个子束经过均匀混合下形成大面积的离子束.在同样的加速电......
我们用离子束沉积枝术,制造出了奇异性能的类金刚石碳膜(DLC膜)。初步测试了它的部份机械特性、光学特性、电气特性,化学特性。并......
金刚石是一种具有多种特异性能的功能材料,它具有硬度高、导热性能好,热膨胀系数小,光学性能优异、电介性能高,以及声传播速度快......
采用离子束溅射方法在单晶Si(100)基片上沉积厚度为100nm的Al2O3薄膜,利用原子力显微镜、X射线光电子能谱、掠入射衍射等微观分析......
介绍了离子注入、离子束沉积、等离子体增强化学气相沉积、等离子体化学热处理、双层辉光离子渗金属、等离子喷涂和高分子材料......
该文以钛合金、单晶硅为基底材料，在不同条件下用离子束沉积钛氧化膜，用椭圆偏振术观察纤维蛋白原在钛氧化膜上的吸附情况。结果表明......
