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绝缘体上的硅(SOI)相关论文
水等离子体离子注入形成SOI结构材料的研究
绝缘体上的硅(SOI)技术以其独特的结构在低压、低功耗电路,高温、抗辐照器件以及集成光电子器件方面有着广泛的应用。1998年IBM公司首......
学位
绝缘体上的硅(SOI)
离子注入
等离子体
注氧隔离(SIMOX)
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