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激光预处理ZrO_2-SiO_2 1064nm高反射膜的机理
分析了激光预处理对ZrO2-SiO21064nm高反射膜激光损伤阈值以及引起损伤缺陷的影响。在以缺陷损伤阈值和缺陷密度表征缺陷的基础上,......
期刊
高反射膜
缺陷密度
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ZrO2-SiO2
缺陷阈值
激光预处理
能量密度
缺陷特征
薄膜结构
高阈
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