薄膜生长机理相关硕士博士期刊学术论文

辉光放电碳氢聚合物(a-C：H)薄膜的原子序数低、应力小,具有良好的红外光透过性,有利于靶丸内氘氚冰层的红外加热。并且其为非晶的网......