薄膜硬度相关论文
随着微电子技术的普及产业化,对半导体薄膜材料的硬度测量需求,越加迫切。从七十年代末以来,对用于薄膜材料表面硬度测量方法、装......
类金刚石薄膜(diamond-like carbon films,简称DLC薄膜)由于其高的硬度、良好的化学稳定性、抗腐蚀性能和优异的摩擦磨损性能而广......
多弧离子镀技术是先进的表面工程技术之一。纳米复合膜是当前表面工程领域的发展前沿。工模具表面硬化涂层主要以TiN为主，并已投入......
本文采用离子束辅助沉积技术在不锈钢和高速钢基体上制备Ti-Cu-N纳米复合薄膜。用X射线光电子谱(XPS)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电......
采用中频非平衡磁控溅射工艺，在316L不锈钢、高速钢和硬质合金3种基体材料上制备Ti／TiN／Ti（C，N）膜系的硬质薄膜。通过改变工作气氛、基体......
2000年,Veprek [1]等报道了在Ti-Si-N复合膜中获得了80～150GPa的超高硬度,这一超过金刚石薄膜硬度(70～90GPa)的结果令人惊讶并引起竞......
在不同氮流量下,利用微波-ECR等离子体溅射沉积技术在45#钢基体上制备了ZrN薄膜.XRD、TEM分析结果表明:随着充入N2流量的改变,薄膜......
本文利用脉冲真空弧源沉积技术在Cr17Ni14Cu4不锈钢和Si(100)基体上制备了类金刚石(DLC)薄膜,研究在不同基体偏压下,DLC薄膜的结构......
采用直流磁控溅射技术在GCr15轴承钢底材上沉积了钼薄膜。利用XRD,AFM对不同负偏压下沉积的钼薄膜的结构和表面形貌进行了表征;利......
