超高纯气体相关论文
高纯度电子气体是保证当今各种高性能电子器件质量的关键所在。电子气体，尤其是氨气、磷烷、砷烷和硅烷等氢化物气体，含氧化合物是重......
着重介绍室内超高纯气体管路系统为防止污染而采取的正确设计、安装及使用方法,对管道表面渗漏状况、粒子污染状况及其影响等作了......
超高纯气体在工业领域有着重大的需求，必须有相应的高灵敏度杂质检测技术作为支撑。大气压电离质谱（APIMS）具有非常高的灵敏度，通常比......
期刊
随着产业的发展，对超高纯氨的需求越来越大，品质要求也越来越高。因此对于氨气中的杂质控制也更加严格。本文详细介绍了GC-9560-......
