本文通过对闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术的分析，结合镀膜电源监控系统在国内外的发展现状，研究设计了基于RS-485总线的多台镀膜电......

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正弦波中频电源广泛应用于溅射镀膜领域。设计了一种以IGBT为功率器件的10kW40kHz正弦波镀膜电源，主电路采用移相全桥电路进行电压......