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近年来，随着我国公路路网建设进入高速发展时期，越来越多的高速公路隧道在我国多山地区投入使用。隧道监控系统采集到越来越多的隧道......
随着MEMS及纳米科技的进步,悬臂梁探针在扫描探针显微镜、隧道传感器、微纳米加工、高密度数据存储中的应用越来越多,微纳米针尖的......
基于硅加工的高灵敏微型隧道传感器在过去15年里得到了充分的发展.多种隧道传感器被开始出来,例如加速度计,角速度计,红外传感器,......
设计了一种扇形梳齿驱动式隧道陀螺仪，意在取代现有的平板驱动方式，以此来提高陀螺仪的灵敏度．从扇形梳齿驱动的工作原理出发，推导了该......
介绍了一种利用隧道效应所具有的高位移敏感特性来获得较高灵敏度的微机械隧道振动陀螺仪的设计和工艺制备，该陀螺仪分别采用扇形梳......
