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O2^+清洗相关论文
HgCdTe光伏器件多层钝化膜等离子体处理的研究
在HgCdTe光伏探测器件SiO2+ZnS复合介质膜钝化中,引入O2^+清洗和Ar^+刻蚀两种等离子体处理工艺,大大提高薄膜附着力,成功制备出优良的光......
期刊
O2^+清洗
Ar^+刻蚀
钝化
HGCDTE光伏探测器
O2^+ cleaning Ar^+ etching passivation HgCdTe photo
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