【摘 要】
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利用波长为1064 nm 的皮秒激光在熔融石英表面进行微槽加工,提出一种提高石英对激光的吸收率的表面毛化方法,并对表面毛化和没有毛化两种情况下石英玻璃的微槽刻蚀情况进
【机 构】
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中国科学院宁波材料技术与工程研究所,浙江宁波315201
【出 处】
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第十届全国激光技术与光电子学学术会议
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利用波长为1064 nm 的皮秒激光在熔融石英表面进行微槽加工,提出一种提高石英对激光的吸收率的表面毛化方法,并对表面毛化和没有毛化两种情况下石英玻璃的微槽刻蚀情况进行了对比.分析了皮秒激光器和与石英玻璃间的作用机理,研究了微槽宽度、深度同激光参数(激光功率,扫描速度,扫描次数)之间的关系.利用激光扫描共聚焦显微镜对微槽的表面粗糙度进行了检测,结果显示微槽表面上没有微裂纹,表面粗糙度小于1.6 μm.最后实现了一个宽度1mm,深度1 mm 的“V”形槽和与宽度0.9 mm,深度0.6 mm 的“波浪”型微槽的刻蚀.
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