【摘 要】
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本文应用等离子体辅助化学气相沉积方法在单晶硅上制备了由硬/软亚层交替构成的类金刚石多层膜.通过工艺参数调整,获得了亚层厚度从1000nm至25nm变化的DLC多层膜.应用球-盘摩擦磨损试验机分别测试了DLC多层膜在真空、氧气、干燥空气下的摩擦学行为.实验结果与单层DLC膜比较表明,在不同摩擦环境下,多层结构对摩擦因数的影响较小,但对磨损率有较大的影响.多层结构可有效抑制DLC膜的磨损.特别是在氧气
【机 构】
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装甲兵工程学院,装备再制造技术国防科技重点实验室,100072 日本产业技术综合研究院先进炭材料研
【出 处】
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第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛
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本文应用等离子体辅助化学气相沉积方法在单晶硅上制备了由硬/软亚层交替构成的类金刚石多层膜.通过工艺参数调整,获得了亚层厚度从1000nm至25nm变化的DLC多层膜.应用球-盘摩擦磨损试验机分别测试了DLC多层膜在真空、氧气、干燥空气下的摩擦学行为.实验结果与单层DLC膜比较表明,在不同摩擦环境下,多层结构对摩擦因数的影响较小,但对磨损率有较大的影响.多层结构可有效抑制DLC膜的磨损.特别是在氧气、干燥空气摩擦环境下,DLC多层膜的磨损率明显低于DLC单层膜.结果显示,特定亚层厚度的DLC多层膜在不同摩擦环境下均具有稳定的抗磨性能,大约在10-8mm3/Nm.
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