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在惯性约束聚变(ICF)实验研究中,三次谐波转换单元是ICF激光驱动器重要的组成部分。影响单元转换效率和稳定性的因素主要包括基频光束质量、晶体质量和晶体调试三方面。高效率的三次谐波转换对晶体角度控制的要求都非常高,晶体调试的目的就是确定晶体的最佳匹配位。晶体的在线调试须要发射多次主激光的大能量脉冲,为减少晶体的在线调试发次与时间,一般须先对单元进行离线调试。离线调试的基本方法是,使用Nd:YLF探针激光器扫描晶体,测量倍频和三倍频晶体在不同倾斜角度下的谐波转换效率,利用多项式函数拟合数据,绘制“谐波转换效率vs倾斜角度”调谐曲线,确定最佳匹配位。晶体离线调试技术要求离线调试的环境条件与在线工作环境相当,系统的机械调整和光束监测精度,都不低于在线调试的精度。通过对晶体离线调试技术相关问题的研究,本文主要工作有以下几方面：(1)综合分析了影响三倍频谐波转换效率的晶体均匀性问题,包括晶体折射率均匀性、晶体面型均匀性和厚度均匀性三方面。当离线调试的精度足够高时,可通过扫描晶体表面不同位置,绘制晶体最佳匹配位空间分布图。(2)详细分析和研究了美国与国家点火工程(NIF)配套的晶体离线调试装置(CAVE),对其设计思想、光路结构和精度分析等有了较深入的理解,为的“神光Ⅱ”装置的晶体离线调试系统设计提供了较好的参考。(3)针对“神光Ⅱ”装置升级工程的需求,设计了一套高精度高自动化的晶体离线调试系统,其单点测试的重复精度为±30μrad,能量测量精度为4%。(4)在现有的晶体离线调试系统基础上作改进,进行了多次倍频和三倍频晶体离线调试试验。实验表明了设计中的自动化控制、数据采集和处理部分功能良好,倍频最佳匹配位调试精度可达到±50μrad。