【摘 要】
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光谱共焦位移传感器具有精度高、适应性强等特点,传感器的关键部件是产生轴向色散的物镜。本文对传感器的工作原理进行了分析,推导了计算物镜光学参数的公式,并依据此公式计
【机 构】
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
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光谱共焦位移传感器具有精度高、适应性强等特点,传感器的关键部件是产生轴向色散的物镜。本文对传感器的工作原理进行了分析,推导了计算物镜光学参数的公式,并依据此公式计算结果设计物镜,得到了满足设计指标的物镜,且与理论计算相符。传感器的工作波长范围是500~700nm,设计的色散物镜利用高色散玻璃和双胶合透镜达到了1mm的量程,配以合适的光谱仪,传感器分辨率优于1μm。物镜使用齐明透镜和双胶合透镜减小球差,使得各波长的最大球差约为0.6μm,满足物镜精度要求。
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