改进型全方位离子注入原型机研制成功

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在材料表面改性装置中,全方位离子注入技术与常规离子注入技术的主要区别在于注入离子存在于包围工件的等离子体中且近似垂直于工件表面注入,由此带来的优点是装置结构简单,功能/价格比高,不受离子束的所谓“视线加工”限制,对复杂工件改性不需束扫描和旋转靶即可实现离子全方位均匀注入,而且由 The main difference between omnidirectional ion implantation technology and conventional ion implantation technology in the material surface modification device is that the implanted ions are present in the plasma surrounding the workpiece and injected approximately perpendicular to the surface of the workpiece. The advantage of this is that the device structure is simple , The function / price ratio is high, not subject to the so-called “line of sight processing ” limit of the ion beam, it is possible to realize the uniform ion implantation in all directions without modifying the complex workpiece by beam scanning and rotating target,
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