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为了提高钛合金的表面耐磨性能，发展了一种表面无氧化膜的高温固态渗氧．扩散固溶复合处理方法（OP-DS）。利用TGA，SEM，XRD，XPS及显微硬度计对OP-DS处理后的钛合金进行了研究。结果表明：OP-DS方法能显著提高合金表面层的硬度，硬化层深度随预渗氧时间的延长而增加；预渗氧处理时间对扩散固溶效果有很大的影响，适当的预渗氧时间可在表面形成无膜强化固溶层。从热力学及动力学角度对渗氧．扩散固溶机理进行了探讨。