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研究了低氧分压反应溅射法生长的SnO2薄膜于600℃ O2气氛和Ar气氛退火处理后的表面形貌、晶体结构以及表面成分，发现经氧化性气氛退火处理的SnO2为具有金红石结构的表面多孔薄膜。相比较而言，Ar气氛退火处理后的SnO2薄膜表面较为致密，相结构包含未氧化完全的β-Sn。XPS分析进一步表明，氧化性气氛退火形成单一组分的SnO2，而惰性气氛退火后薄膜表面含有Sn、SnO和SnO2。另外，研究还发现薄膜表面吸附氧形态与退火气氛有关。