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采用多弧离子镀技术在高速钢和单品硅基体上制备Zr-Ni-N复合薄膜，研究了低能氮离子束对Zr-Ni-N涂层结构、表面形貌和硬度的影响。研究表明：用低能氮离子束辅助真空电弧沉积Zr-Ni-N膜，ZrN结构在（111）品面出现一定的择优取向，并对Zr-Ni—N膜层有一定的强化作用，膜层表现出较高的显微硬度。