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近年来，铝合金广泛用于生产多种功能薄膜，作为制备高性能溅射薄膜用的铝合金靶材也得到了相应的应用。本文重点介绍应用于不同领域的几种铝合金功能薄膜，简述了铝合金薄膜与溅射靶材的制备工艺、铝合金靶材的显微结构及其对溅射薄膜性能的影响，最后指出了铝合金薄膜及溅射靶材的发展趋势。
铝合金功能薄膜与溅射靶材
【摘 要】
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近年来，铝合金广泛用于生产多种功能薄膜，作为制备高性能溅射薄膜用的铝合金靶材也得到了相应的应用。本文重点介绍应用于不同领域的几种铝合金功能薄膜，简述了铝合金薄膜与溅射
【机 构】
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北京有色金属研究总院
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2000年5期
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