【摘 要】
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在玻璃衬底上采用低压化学气相沉积法制备了B掺杂的ZnO薄膜，研究了真空气氛和氢气气氛下不同退火温度对ZnO：B（BZO）薄膜电学性能和光学性能的影响。结果表明，两种不同退火气氛下进
【机 构】
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江西科技学院,浙江正泰太阳能科技有限公司
【基金项目】
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江西科技学院自然科学项目（16ZRYBl0）,国家自然科学基金（21571095）
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在玻璃衬底上采用低压化学气相沉积法制备了B掺杂的ZnO薄膜，研究了真空气氛和氢气气氛下不同退火温度对ZnO：B（BZO）薄膜电学性能和光学性能的影响。结果表明，两种不同退火气氛下进行退火处理，BZO薄膜性能发生相反的变化：真空气氛下退火时，BZO薄膜的导电能力随退火温度的提高而下降，但长波区的透光率却随之增加，这主要是由于真空退火后载流子浓度降低所致；而在氢气气氛下退火后，BZO薄膜载流子浓度基本保持不变，但Hall迁移率却显著提高，从而在保证透光率基本不变的前提下，使得BZO薄膜的导电能力得到显著提高，
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