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本文在直拉炉中使用异型加热器来替代普通加热器,通过有限元分析软件模拟分析,指出异型加热器增大了固液界面温度梯度,拉平了固液界面形状,同时也导致应力增大。单晶拉晶实验对比结果显示,使用异型加热器等径功率显著降低,拉晶速度明显提高,并且功率与拉晶速率变化幅度变小,有利于等径状态的稳定化。
异型加热器在直拉硅单晶炉中的应用
【摘 要】
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本文在直拉炉中使用异型加热器来替代普通加热器,通过有限元分析软件模拟分析,指出异型加热器增大了固液界面温度梯度,拉平了固液界面形状,同时也导致应力增大。单晶拉晶实验
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
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中国电子科学研究院学报
【发表日期】
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2015年06期
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