用于材料改性的宽束离子源现状及其发展

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本文叙述了对材料表面改性的宽束离子源的要求,重点介绍了考夫曼型气体离子源及电子束蒸发强流金属离子源,也介绍了RF、ECR离子源及MEVVA源。 This paper describes the requirements of wide beam ion source for surface modification of materials, with emphasis on Kaufman-type gas ion source and electron beam evaporation of high-intensity metal ion source. The RF, ECR ion source and MEVVA source are also introduced.
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