【摘 要】
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电子工业用剧毒气体取样和排放是整个分析过程中必不可少的重要环节,也是制约当前电子工业用气分析发展的一个重要因素。本研究针对电子工业气体分析前取样和分析后尾气处理
【机 构】
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国家化学工业气体产品质量监督检验中心
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电子工业用剧毒气体取样和排放是整个分析过程中必不可少的重要环节,也是制约当前电子工业用气分析发展的一个重要因素。本研究针对电子工业气体分析前取样和分析后尾气处理环节,设计出一套一体式密闭剧毒气体取样和尾气排放处理装置,实现了样品取样,分析和排放三个过程无缝连接。实际应用效果对比试验表明,采用取样装置吹扫后,进样能快速有效排除管路系统内空气残留,减少了重复进样次数,有效提高了整个分析过程的安全性和精确度。
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