【摘 要】
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干法腐蚀的最新进展使其成为微铸模制造中有发展前途的工艺技术。就像ＤＥＥＭＯ工艺展示的那样，高深宽比、方向自由度、低不平度、高腐蚀速率以及对掩模材料的高选择比，使多用的微铸模制
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干法腐蚀的最新进展使其成为微铸模制造中有发展前途的工艺技术。就像ＤＥＥＭＯ工艺展示的那样，高深宽比、方向自由度、低不平度、高腐蚀速率以及对掩模材料的高选择比，使多用的微铸模制作工艺能进一步电镀和模压。ＤＥＥＭＯ是英文缩写，含意是干法腐蚀（ＤｒｙＥｔｃｈｉｎｇ）、电镀（Ｅｌｅｃｔｒｏｐｌａｔｉｎｇ）和铸模（ＭＯｕｌｄｉｎｇ）。
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