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在甲烷和氢气的混合系统中，利用石英管型微波等离子体化学气相沉积方法，在硅片上制备了新型的纳米片状碳膜．利用场发射扫描电子显微镜和拉曼光谱仪对碳膜的结构进行了表征，结果表明碳膜是由长1μm、宽100nm的纳米碳片相互缠绕而成．最后简单讨论了新型碳纳米片的形成机理．
微波等离子体化学气相沉积法制备的新型纳米片状碳膜
【摘 要】
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在甲烷和氢气的混合系统中，利用石英管型微波等离子体化学气相沉积方法，在硅片上制备了新型的纳米片状碳膜．利用场发射扫描电子显微镜和拉曼光谱仪对碳膜的结构进行了表征，结果表
【机 构】
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延边大学理学院物理系
【出 处】
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延边大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2009年3期
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