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T330扫描电镜真空系统维护与故障排除
T330扫描电镜真空系统维护与故障排除
来源 :仪器仪表用户 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jizhidong2009
【摘 要】
:
简单介绍T330扫描电镜真空系统的结构和日常维护.通过二例故障的分析,说明故障处理的方法.
【作 者】
:
蔡炳华
闭志强
【机 构】
:
广西农业科学院中心实验室南宁市530007
【出 处】
:
仪器仪表用户
【发表日期】
:
2003年5期
【关键词】
:
扫描电镜
真空系统
维护
故障排除
结构
故障分析
旋转泵
扩散泵
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简单介绍T330扫描电镜真空系统的结构和日常维护.通过二例故障的分析,说明故障处理的方法.
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