扩散泵相关论文
一、引言 在同一抽速下,钛球升华泵的体积、重量、成本是扩散泵、浅射离子泵的几十分之一。它可以作外真空的主泵,加机械泵作内真......
本文叙述了将一台МИ-1305型质谱计改装成适用于分析六氟化铀中铀同位素丰度的专用质谱计。改装是参照CH4/UF质谱计的工作原理,采......
电子束表面淬火工艺的热源是一束从电子枪射出的高能电子,该电子枪与电子束焊机的电子枪相同,由高速微型计算机控制。电子束逐点......
“扩散泵”是高真空镀膜机常用的抽气系统。由于闭循环“致冷机——低温泵”的研制成功,它具有抽速大、无沾污、操作方便等特点,为......
在真空蒸发镀膜设备中,旋片式机械真空泵(以下简称旋片泵)获得了广泛的应用。通常由扩散泵和旋片泵组成抽气系统,旋片泵作为扩散......
本文评述了无油抽气技术在国内外空间环模设备中的发展和应用概况,讨论了实现无油抽气的各种技术途径,并对我国大型环模设备改为无油......
本文介绍了两级小孔泻流法真空校准装置的设计原理、计算方法和具体结构。实验结果表明这种校准装置具有校准范围宽(10-4~10-1乇)、准确性好、......
本文介绍一种用于分子束外延实验装置中取代吸附泵的前级抽气系统。该系统由机械泵、扩散泵及分子筛吸附阱组合而成。文中讨论了设......
我厂革命职工,遵照伟大领袖毛主席关于“人类总得不断的总结经验,有所发现,有所发明,有所创造,有所前进。”的教导,在过去生产扩散......
近年来,用锆铝消气剂带制成的吸气泵问世了,78年冶金部有色金属研究院试制成功了φ3口径,对氮抽速750升/秒、对氢抽速4000升/秒的......
由简单可靠的铝片密封垫圈引导出几个新的技术。这种密封垫圈的使用温度允许由液氮温度到450℃这样宽的范围。铝片密封垫圈用在一十50升......
介绍了用于扩散泵低压端双级径向流分子泵详细结构、性能预示及性能测量。性能预示的基础是自由分子流和扩散反射的概念。就现有设......
通常的氦质谱检漏,从被检件取样的气体通过节流阀进入质谱室进行分析;反流氦质谱检漏时,从被检件取样的气体则通过阀门进入检漏仪......
引言 虽然科研和生产发展日益需要设计出井维护得良好的真空系统,但是真空工艺的教学近年来却甚受忽视。现在介绍一系列简单的真空......
用定压法测量扩散泵的抽气速率是目前各国从事扩散泵研究和生户的工作者所接受和使用的一种方法,而其在测量时所引起的种种误差已做......
本文扼要地介绍了低温泵的抽气原理及其主要的性能参量,同时叙述了ZDB型低温泵用于三种真空镀膜装置和离子注入机的抽气特性及承受......
碳氢化合物污染影响到大多数与真空有关的科学仪器的性能。在电子显微镜里,由于样品受到返流泵液和系统的其他碳氢化合物的聚合作......
一、常规型质谱检漏仪的发展真空检漏技术中,唯有氦质谱检漏仪灵敏度最高。广泛采用,发展较快亦较成熟。早在四十年代其检漏灵敏......
本文详述了扩散泵真空系统的污染来源。说明了减少这些污染的方法。还提出了合理的抽气方法,特别强调采用干燥的氮气净化气体。 引......
本文介绍一种实验室用的、抽气时间短、简易的极高真空系统。它由一台特殊设计的玻璃冷冻钛升华泵与超高真空玻璃油扩散泵串联所组......
本文利用传质原理的菲克扩散定律,描述了扩散泵的抽气过程,提出了抽气特性计算的理论模型.同时,利用该模型导出了有关性能参数的计算公......
前言 1997年3月间在广东肇庆市召开“全国真空镀膜技术经验交流会”,作者曾应邀在会上做了关于“真空镀膜机的真空系统计算”的报......
一、高真空镀膜机研制的特点 GDM—1200型高真空镀膜机,是为白城电光器材厂生产电致发光屏、由沈阳真空技术研究所研制的。 电致发......
自盖德(W.Gaede,1878—1945)1913年发明扩散泵至今已七十多年了,通过不少科学工作者的辛勤劳动,使扩散泵逐渐发展和完善起来。现......
工作压力低于10-2Pa的设备,在真空泵的选择问题上总是采取一种折衷的方案,在许多可予以考虑的规范中进行选择。此外,用于判断泵特性的有关数......
本文以气体动力学理论为基础,论述了如何通过改进扩散泵的第一级喷咀来提高扩散泵的抽气速率。
Based on the theory of gas dynam......
本文根据气体动力学的二元理论论述了扩散泵喷嘴角度与喷嘴扩张车的关系,认为喷嘴角度在一定范围内变化时,喷嘴的扩张率也要作相应地......
真空喷涂仪在电镜维护中是必不可少的设备,同时还用于扫描电镜制样。其能否正常工作直接影响电镜的维护及电镜制样。现将真空喷涂......
这篇文章提供了在与扩散泵连接相同口径的试验罩内分子流的研究。与管规及孔规有关问题的理论分析,通过引进新的系数J;和Jorf分别......
在伟大领袖毛主席的无产阶级革命路线指引下,我国的社会主义革命和社会主义建设取得了巨大的胜利。批林整风运动更加深入,无产阶级......
假设扩散泵的性能是以工作液的分子和被抽气体之间的碰撞为根据,通过一些合理假设,按照波耳兹曼方程可以推导出抽气作用方程。抽气......
在国内外一片大好形势下,一个批修整风为纲的提高产品质量的群众运动,在工业战线上蓬蓬勃勃的开展起来。真空行业虽然是一个年青的......
五十年代有人[1]提出过应用气体动力学理论分析扩散泵工作的问题。但那时的认识很肤浅,还不能用来解决实际问题。1979年 M. Wutz[2......
借助于低温抽气技术以获得真空的方法,从1908年低温技术开始发展起,就为人们所熟知。实际上,早在一百多年前的1874年人们就已利用......
美国麻萨诸赛州牛顿城的国家研究公司的分公司——NRC设备公司目前研制出一种世界上抽速最快的16吋真空扩散泵。这种新的油扩散泵......
将一个25千瓦的商品四腔速调管(EEV 公司的 K376)改装成用大抽速排气系统连续排气的可拆管。管子的主要排气和阴极处理用扩散泵。......
一、引言在同一抽速下,钛球升华泵的体积、重量、成本是扩散泵、溅射离子泵的几十分之一。它可以用作外真空的主泵;加机械泵作内......
我们在二级玻璃汞扩散泵的真空系统上使用了室温的镉膜阱,证明镉膜阱能有效地捕集汞蒸气,使被抽容器达到气压力10~(-5)—10~(-7)毫......
1.油扩散泵与水银扩散泵的比较 水银扩散泵是1915年发明的,但自1928年发现可以用油作为工作液体代替水银后,水银扩散泵不太被人们......
没有油的真空泵在高真空获得方面,过去经常使用扩散泵.扩散泵的优点是:工作效率高、没有转动部分、不需要特殊的电源和控制台、使......